新竹縣BOO焚化廠設廠土地是廠商自己的土地，是廠商配合新竹縣政府政策，自行備具私有土地投資興建，擁有所有權，並且自為營運，所以廠商是在私人土地上興建，限制了土地的面積，必須在有限的土地上設計興建焚化廠。

　　本案則是由政府提供土地興建焚化廠，至於廠址面積要求達5公頃以上，是因為除了要設置焚化廠外，並依環境部政策規劃完善之底渣分選設施及飛灰穩定化物暫置倉庫，同時依相關法令規定設置應有的滯洪沉砂池與環廠緩衝綠帶。另外也將相關回饋設施納入廠區規劃，所以綜合考量整體設施配置需求，土地面積須達5公頃以上才能符合上述各項設施規劃設置的需要。