(一)加裝防制設備能有效減少SOx或NOx之排放且達法定標準。如裝置洗滌塔、乾式排煙脫硫設備、濕式排煙脫硫設備、半乾式洗滌塔、SCR設備、SNCR設備及低氮氧化物燃燒器等。
(二)因製程特性或製程改善能減少SOx或NOx之排放且達法定標準。如水泥業、石灰業，燃料中添加生化促燃劑及使用電力為能源之製程等。
(三)依(88)環署空字第0025597號函說明。NOx可因鍋爐之設計、操作條件之改善而減少NOx之排放，故可認定其為製程改善，NOx可依實際排放濃度適用較優惠之費率。